御微半导体:国内首款可完整覆盖 90~28nm 掩模图形缺陷检测设备发运国内头部晶圆厂
IT之家 7 月 29 日消息,御微半导体今日宣布,全新自研的 国内首款 可完整覆盖 90nm 至 28nm 制程节点的 掩模图形缺陷检测设备 Raptor 600 正式发运国内头部晶圆厂。 掩模版是芯片光刻环节的核心“母版”,它的品质直接左右整片晶圆的生产良率。细微的图形缺陷,…
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